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本发明公开了一种三维动作感知器件及其制备方法,包括：法向应力感知单元、应变矢量感知单元以及从上到下依次排列叠层集成；按照自上而下的顺序所述法向应力感知单元包括：上封装层、第一应力传感层、间隔层、第二应力传感层和应力绝缘层；按照自上而下的顺序所述应变矢量感知单元包括：第一应变传感层、应变绝缘层、第二应变传感层和下封装层。本发明在三维动作感知器件中，法向应力感知单元可独立于平面拉伸应变的干扰准确检测法向压力，应变矢量感知单元可独立于法相压力的干扰实现平面应变大小与方向的检测，进一步通过对法向压力与平
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115568849 A
(43)申请公布日 2023.01.06
(21)申请号 202211176089.8
(22)申请日 2022.09.26
(71)申请人 北京科技大学
地址 100083
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