一种纳米真空镀膜分区压力控制方法及系统.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种纳米真空镀膜分区压力控制方法及系统.pdf

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本发明公开了一种纳米真空镀膜分区压力控制方法及系统，所述真空镀膜分区压力控制方法具体包括以下步骤：纳米真空镀膜的压力区间划分，镀膜需求获取以及镀件的压力区间分配，初始真空室压力的控制，真空室压力变化的预测，镀膜过程中的真空室压力控制，本发明中，在镀件进入真空室内镀膜前，提前设定不会因压力变化而影响镀膜效果的初始真空室压力，简化正常镀膜过程中的控制流程，并在未能实现时在生成压力预警信号，重点关注，并对后续真空室内的压力变化进行预测与分析，实现对真空室内的压力的提前控制，避免因压力影响而导致镀膜质量

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117026197 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310995860.2 (22)申请日 2023.08.09 (71)申请人苏州慧连航科技有限公司地址 2