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本发明公开一种MEMS压力传感器桥臂电阻测试方法，属于传感器测试领域。桥臂电阻两端进行工艺重掺，通过引线孔溅射金属连接到金属焊盘；测试时采用双针测试，在电阻两端引出的金属焊盘上各设计两根测试探针，两两探针之间物理绝缘，测试时电阻两端金属焊盘共计扎四根探针，四根探针通过相互独立的量测通道接入设备源表不同的量测单元；正式测试开始前，使用程序里预设的烧针算法程序，进行烧针和电清洁金属焊盘表面自然氧化层；测试过程中，在程序算法里设置多次重复测试，不需重复压针，多次测试后取平均值计算电阻。本发明的可重复性
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117030108 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202311007874.5
(22)申请日 2023.08.11
(71)申请人 无锡中微晶园电子有限公司
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