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本发明提供一种基于储存环与振荡器的极紫外光源装置，包括电子储存环、以及与电子储存环连接以形成电子束回路的振荡器段，振荡器段包括波荡器和谐振腔，谐振腔包括至少两个腔镜，且波荡器的入口、出口各对准一个腔镜；波荡器设置为接收来自电子储存环的电子束和来自谐振腔的极紫外光，使得电子束与极紫外光相互作用，以产生极紫外光；所述谐振腔设置为使波荡器产生的一部分极紫外光通过腔镜到达所述波荡器的入口，使这部分极紫外光作用于波荡器入口处的电子束，并使得波荡器产生的另一部分极紫外光输出。本发明的极紫外光源装置在造价上相
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117031882 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202310941732.X
(22)申请日 2023.07.28
(71)申请人 中国科学院上海高等研究院
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