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一种变节距结构及硅片生产装置.pdfVIP

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  • 2023-11-11 发布于四川
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一种变节距结构及硅片生产装置.pdf

    本实用新型涉及一种变节距结构及硅片生产装置，包括承载架，承载架包括两个对称设置的竖板，两竖板相对的一上分别设置有多个沿其长度方向间隔排列的支撑件，且两竖板上的支撑件两两对称；抬片组件，其包括第一驱动源，第一驱动源竖直设置于承载架的一侧，第一驱动源的输出端连接有基板，基板上设置有沿竖直方向间隔排布的多个插齿，插齿延伸向两竖板之间，且插齿的排布间距与支撑件的排布间距相对应。本实用新型的变节距结构通过驱动结构可以驱动多个插齿同步对硅片的中部位置进行抬升和支撑，使硅片下垂的中部位置抬升至水平，保证吸取装

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219998155 U (45)授权公告日 2023.11.10 (21)申请号 202320606580.3 (22)申请日 2023.03.24 (73)专利权人 罗博特科智能科技股份有限公司 地

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