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一种原子层沉积实验机的送料结构.pdfVIP

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  • 2023-11-11 发布于四川
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一种原子层沉积实验机的送料结构.pdf

    本实用新型涉及一种原子层沉积实验机的结构改进，特别涉及一种原子层沉积实验机的送料结构，可以更好的实现上料的同时，降低原子层沉积实验机内部的环境波动影响；包括外腔体和内腔体，所述内腔体的底部设有开口，还包括上料盘和伸缩机构，所述伸缩机构安装在外腔体底部且与上料盘连接，所述上料盘位于外腔体内部且可与开口卡和，所述外腔体的侧壁上设有仓门，外腔体上还设有自动送料装置，所述自动送料装置包括上料滑台一和弧形上料盘，所述弧形上料盘安装在上料滑台一上且与上料滑台一滑动配合，所述弧形上料盘与仓门高度一致，所述仓门

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219991728 U (45)授权公告日 2023.11.10 (21)申请号 202321439274.1 (22)申请日 2023.06.07 (73)专利权人 江苏迈纳德微纳技术有限公司 地址

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