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自行修刀的单晶硅晶棒滚磨机及修刀方法.pdfVIP

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  • 2023-11-11 发布于四川
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自行修刀的单晶硅晶棒滚磨机及修刀方法.pdf

    本发明提供一种自行修刀的单晶硅晶棒滚磨机及修刀方法，涉及晶棒滚磨机技术领域，当砂轮或磨头表面粗糙或凹凸不平时，将晶棒取出，通过晶棒夹头将修刀件夹持在原来晶棒的位置上，启动自行修刀的单晶硅晶棒滚磨机，砂轮或磨头进行旋转与修刀件接触，进行修刀，一方面，自行修刀的单晶硅晶棒滚磨机既可通过砂轮、磨头对晶棒进行滚磨加工，也可通过修刀件对砂轮或磨头的表面缺陷进行自动修复，不用频繁更换砂轮或磨头，使得成本降低；另一方面，选择抗磨球墨铸铁作为修刀件的材质，使得修刀件硬度高、耐磨性能强；再一方面，所述修刀件的适用

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117020956 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311065440.0 B24B 5/35 (2006.01) (22)申请日 2023.08.2

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