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本发明涉及晶元测距技术领域,公开一种测距机构及取放装置,测距机构包括测量组件和调节组件,测量组件包括测距筒、第一弹性件和测距触头,第一弹性件位于测距筒内,测距触头的一端位于测距筒内且与第一弹性件连接,测距触头的另一端位于测距筒外且能够抵接晶元,测距筒上设置有激光测距仪,激光测距仪用于测量测距触头的测距平台与激光测距仪之间的距离。调节组件安装于移动主体上,移动主体可带动调节组件移动,调节组件的输出轴与测距筒连接,输出轴转动可使测量组件转至测距位置,位于测距位置的测距触头的另一端能够抵接晶元,以获取
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117038534 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202311300863.6
(22)申请日 2023.10.10
(71)申请人 上海陛通半导体能源科技股份有限
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