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本发明涉及一种垂直腔表面发射激光器及其制备方法，垂直腔表面发射激光器包括由下至上依次设置的衬底、n‑DBR、有源层、p‑DBR和p‑Cap；p‑Cap上设置有环形的接触电极，接触电极内部设置有出光口中心区，接触电极和出光口中心区之间的区域为环形区；p‑Cap和接触电极上方覆盖有第一介质层，且中心区或环形区上方未覆盖第一介质层；第一介质层上方覆盖第二介质层，且第二介质层覆盖中心区和环形区；第一介质层和第二介质层的材料相同。本发明无需在外延片的表面刻蚀，使得外延片整体结构得以保留，表层含Al层无暴露
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117039616 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202310979701.3
(22)申请日 2023.08.04
(71)申请人 闽都创新实验室
地址 35010
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