一种降低损伤率的倒装芯片吸嘴装置.pdfVIP

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  • 2023-11-11 发布于四川
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一种降低损伤率的倒装芯片吸嘴装置.pdf

本实用新型提供一种降低损伤率的倒装芯片吸嘴装置,通过将吸嘴头上设置吸附端面,并在吸附端面上的一角设置避让槽,在吸附端面的其余位置设置吸附孔,所述吸附孔同吸嘴头以及吸附管体中的负压通道相连通,为吸嘴头提供吸附功能,在对倒装芯片进行吸附的同时,将避让槽同倒装芯片上的半导体芯片位置相对应,避让槽用于容纳半导体芯片,吸附孔用于吸附倒装芯片的基板部分,从而避免了再吸附过程中对半导体芯片造成的损伤,同时保证了吸附稳定性。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219998191 U (45)授权公告日 2023.11.10 (21)申请号 202321452518.X (22)申请日 2023.06.07 (73)专利权人 武汉电信器件有限公司 地址 4

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