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本发明提供了一种基于二氧化硅波导的窄线宽外腔激光器，包括增益芯片和外腔芯片，外腔芯片包括耦合器、分束器、第一微环谐振腔和第二微环谐振腔；增益芯片自第一输出端输出的激光通过耦合器耦合进入到第一直波导，经分束器、第一弯曲波导、微环耦合结构进入第一微环谐振腔和第二微环谐振腔；第一微环谐振腔和第二微环谐振腔为半径不相等的环形结构，用于谐振部分激光并将其返回到增益芯片内，当返回激光的频率满足锁定条件时，形成自注入锁定。本发明中外腔芯片采用二氧化硅工艺平台，传输损耗低，易于制备高Q值微环，以达到压缩线宽的作
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117039614 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202310992302.0
(22)申请日 2023.08.08
(71)申请人 西安空间无线电技术研究所
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