基于300mm SEMI标准的PVD功能仿真与关键技术研究的中期报告.docxVIP

基于300mm SEMI标准的PVD功能仿真与关键技术研究的中期报告 该中期报告的主要内容为基于300mm SEMI标准的PVD功能仿真与关键技术研究。以下是该中期报告的摘要： 本报告以300mm SEMI标准为基础，对PVD（物理气相沉积）系统进行了功能仿真和关键技术研究。首先，根据制备薄膜的要求，建立了PVD系统模型，并对其进行了仿真。接着，分析了PVD系统常见的故障原因及其表现，并提出了相应的故障检测和排除方法。此外，针对PVD过程中的表面张力和膜质量问题，提出了优化控制参数并改善金属沉积质量的解决方案。 另外，还对关键技术进行了研究，包括PVD系统中的感应加热技术、气体处理技术、高真空技术等。其中，针对感应加热技术的局限性，提出了一种基于电感耦合的高频感应加热技术，有效地解决了传统感应加热技术存在的温度均匀性问题。同时，本报告还对PVD系统中的气体处理技术和高真空技术进行了深入研究，提出了针对性的解决方案，并进行了仿真验证。 总体来说，本报告针对PVD系统在制备薄膜过程中存在的故障、表面张力和膜质量等问题以及PVD系统中的关键技术展开了深入的研究和仿真，有助于提高PVD系统的制备精度和工作效率，为PVD系统在半导体器件制备工艺中的应用提供了一定的参考。