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ICSXX.XXX.XX
CCSXXXX
团体 标 准
T/CSTMXXXXX —202X
航天信号传输用石英基板材料规范
Specification of Quartz Substrate Material for Spacecraft
Signal Transmission
202X-XX-XX 发布 202X-XX-XX 实施
中关村材料试验技术联盟 发布
T/CSTM XXXXX—2022
航天信号传输用石英基板材料规范
1 范围
本规范规定了航天信号传输用石英基板材料的技术要求、质量保证规定、交货准备、说明事项等。
本规范适用于星载微波单元、雷达用电路基板材料等领域航天信号传输用石英基板材料 （以下简称
石英基板）。其他用途应用的石英基板可参照本规范。
2 规范性引用文件
注日期的引用文件，
其中，
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB/T 4339 金属材料热膨胀特征参数的测定
GB/T 5949 透明石英玻璃气泡、气线检验方法
GB/T 6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T 6619 硅片弯曲度测试方法
GB/T 6620 硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T 12636 微波介质基片复介电常数带状线测试方法
GB/T 30903 无机化工产品杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法
GB/T 31838.2 固体绝缘材料介电和电阻特性 第2部分：电阻特性(DC方法) 体积电阻和体积电阻
率
GB/T 34177 光刻用石英玻璃晶圆测试方法
JC/T 185 光学石英玻璃
JC/T 2205 石英玻璃术语
ISO 220075 塑料.热传导率和热扩散率的测定.第2部分:瞬时平面热源(发热盘)法
IPC TM-650 2.5.5.9 1兆赫到1.5千兆赫平行板，介电常数和损耗切线
IPC TM-650 2.5.5.13 使用分体式气缸谐振器的相对介电常数和损失正切
3 术语和定义
GB/T34177及JC/T2205中界定的术语和定义适用于本文件。
4 尺寸、外形及允许偏差
4.1长宽及偏差
1
T/CSTM XXXXX—2022
石英基板长宽及偏差应符合表1规定，其他规格尺寸由订购方和承制方商定或按图样规定。
表1 石英基板长宽及其偏差
尺寸/ 偏差
50.8mm×50.8mm ±0.1%
4.2 厚度及偏差
石英基板厚度及偏差应符合表2规定，其他规格尺寸由订购方和承制方商定或按图样规定。
表2 石英基板厚度及其偏差 单位：mm
δ ） 偏差
厚度 （
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