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1.课程设计目的与任务 2
2.设计的内容 2
3.设计的要求与数据 2
4.物理参数设计 3
4.1 各区掺杂浓度及相关参数的计算 3
4.2 集电区厚度 Wc 的选择 6
4.3 基区宽度 WB 6
4.4 扩散结深 10
4.5 芯片厚度和质量 10
4.6 晶体管的横向设计、结构参数的选择 10
5.工艺参数设计 11
5.1 工艺部分杂质参数 11
5.2 基区相关参数的计算过程 11
5.3 发射区相关参数的计算过程 13
5.4 氧化时间的计算 14
6.设计参数总结 16
7.工艺流程图 1
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