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本发明涉及晶圆编码识别技术领域，尤其涉及一种基于AI识别算法的自适应晶圆读码方法，本发明包括设置灯光调节策略，收集并分析当前工作环境下图像及参数，利用补光器调节读码区域亮度；采集图像构建样本库，将采集到的图像分割成亚区域，采用滤波策略对图像亚区域进行处理；将处理后的亚区域进行选择，选择出带有晶圆ID编码信息的亚区域；构建基于LeNet－5网络的晶圆ID编码识别和提取策略；用样本库样本对LeNet－5网络的训练；将处理好的亚区域图像放入训练好的网络中进行ID提取识别。解决了规格不统一编码晶圆ID在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117057371 A
(43)申请公布日 2023.11.14
(21)申请号 202311081912.1 G06V 10/40 (2022.01)
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