静电吸盘系统、成膜装置、吸附及成膜方法、电子器件的制造方法.pdfVIP

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2023-11-15 发布于四川
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静电吸盘系统、成膜装置、吸附及成膜方法、电子器件的制造方法.pdf

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本发明涉及静电吸盘系统、成膜装置、吸附方法、成膜方法、以及电子器件的制造方法。静电吸盘系统用于吸附被吸附体，其特征在于，包括：静电吸盘，所述静电吸盘具有电极部和吸附所述被吸附体的吸附面，利用对所述电极部施加的电位差来吸附所述被吸附体；磁力产生部，所述磁力产生部配置在所述吸附面的相反侧，具有在与所述静电吸盘的吸附面平行的面内被划分为多个区域的电磁铁模块；以及磁力控制部，所述磁力控制部对所述多个区域的电磁铁模块各自的磁力进行控制。根据本发明，可以利用静电吸盘良好地吸附第一被吸附体和第二被吸附体双方而

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110783248 A (43)申请公布日 2020.02.11 (21)申请号 20191