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本发明涉及用于使非平面物体（14）曝光的方法，其中光学部件（41）布置在待曝光的非平面物体（14）上，其中光学部件的轮廓（43，45）以这种方式形成，使得在单个曝光操作期间在用于使非平面物体（14）曝光的处理头（16）或曝光源（20）的光输出与待曝光的非平面物体（14）的表面（33）上的每一点之间生成恒定光路长度。（参见图4）。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111954850 A
(43)申请公布日 2020.11.17
(21)申请号 201980012383.5 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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