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本发明提供一种利用重力控制锗片腐蚀过程的方法，包括以下步骤：将锗片与临时衬底粘接；将所述锗片和临时衬底放入第一溶液，获取所述锗片和临时衬底的浮力F；根据所述浮力F，计算所述锗片腐蚀减薄到目标重量时，将所述锗片和临时衬底提起所需的拉力；将所述第一溶液更换为第二溶液，所述第二溶液对所述锗片进行腐蚀减薄；当所述锗片腐蚀减薄到所述目标重量时，所述拉力将所述锗片与临时衬底从所述第二溶液中提起，与所述第二溶液脱离。本发明的有益效果是在锗片腐蚀减薄过程中，对锗片的重量进行精确控制，结构简单，操作便捷，大幅缩减
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117059481 A
(43)申请公布日 2023.11.14
(21)申请号 202310971729.2
(22)申请日 2023.08.03
(71)申请人 中电科蓝天科技股份有限公司
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