用于真空门阀的检测系统及检测方法.pdfVIP

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2023-11-15 发布于四川
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用于真空门阀的检测系统及检测方法.pdf

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本发明涉及检测装置技术领域，提供一种用于真空门阀的检测系统及检测方法，其中用于真空门阀的检测系统包括第一连接板、第二连接板、第一压力检测元件、第二压力检测元件、氦气源、氦质谱检测仪、位置检测元件和控制装置，第一连接板和第二连接板分别在阀板的两侧形成第一密闭空腔和第二密闭空腔，第一连接板上设有第一通孔，第二连接板上设有第二通孔；氦气源与第一通孔连接，氦气源与第一通孔之间设有第一阀门；氦质谱检测仪与第二通孔连接；驱动件、第一压力检测元件、第二压力检测元件、氦质谱检测仪和位置检测元件均与控制装置电连接

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117054003 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202311067824.6 (22)申请日 2023.08.23 (71)申请人株洲三一硅能技术有限公司地址