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本发明提供一种具有高维持电压的防浪涌器件及其制备方法，器件包括：衬底，具有第一导电类型并且包括相对的第一面和第二面，第一面和第二面上分别设有氧化层；第一掺杂区，具有与第一导电类型相反的第二导电类型，第一掺杂区以氧化层为阻挡分别形成于衬底中；多个第二掺杂区和一肖特基区，具有第一导电类型，多个第二掺杂区至少形成于其中一第一掺杂区内，多个第二掺杂区间隔分布于第一掺杂区内，肖特基区至少形成于另一第一掺杂区内；金属层，形成于衬底和氧化层的表面。有益效果：采用肖特基工艺和双极性工艺相结合的方式，使得制备得到
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117059610 A
(43)申请公布日 2023.11.14
(21)申请号 202311081622.7
(22)申请日 2023.08.25
(71)申请人 上海维安半导体有限公司
地址 2
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