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本发明公开了一种薄膜太阳能电池激光划刻基板的进出料工艺，包括：S1：基板进料，通过送料机构的进料传送带将基板送入至激光划刻装置内部；S2：基板夹持，通过在激光划刻装置内部内部设置两个平行结构的传输轴，并且在传输轴上设置对称放置的爪夹单元，固定待加工基板；S3：基板加工，待爪夹单元夹持基板，完成进料传输，在划刻装置内部进行划刻；S4：基板输送，加工完成后的基板向后移动至出口位置爪夹单元松开，释放基板；S5：基板出料，基板移动至推出设备，到自动化出料传输带，完成出料。本发明中节省进出料基板的传输时间
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117047292 A
(43)申请公布日 2023.11.14
(21)申请号 202310910409.6
(22)申请日 2023.07.24
(71)申请人 仁烁光能（苏州）有限公司
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