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本发明公开了一种MicroLED基板衬底减薄设备，药液槽内设有用于对MicroLED基板进行衬底减薄的刻蚀药液；清洗干燥机用于对MicroLED基板进行清洗干燥；承料台上设有若干用于存放MicroLED基板的插槽；机械手用于MicroLED基板在药液槽、清洗干燥机以及承料台之间的转运。本发明能够实现上料→中转台→药液槽（检测）→清洗干燥→下料的自动化连续作业，产品放置在药液槽，通过旋转刻蚀，进行衬底减薄。通过本发明达到了控制简单、提高产量、产品良率、减少人员操作、提高安全性效果，自动化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117059712 A
(43)申请公布日 2023.11.14
(21)申请号 202311182412.7
(22)申请日 2023.09.14
(71)申请人 江苏福拉特自动化设备有限公司
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