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本发明公开一种用于固晶机的精密平台，精密平台包括底座、第一移动机构、第二移动机构和晶环旋转机构，第一移动机构包括第一平板和第一驱动件，第一平板沿第一方向滑动设置于底座上，第一平板上设有多个沿第二方向设置的导轨，第二移动机构包括第二平板和第二驱动件，第二平板通过导轨与第一平板滑动连接，第二驱动件用于驱动第二平板做第二直线运动；晶环旋转机构安装在第二平板上；多个导轨中具有至少两个导轨分设于第二驱动电机的两侧，且具有至少两个导轨分设于晶环旋转机构的两侧，第一驱动件为无铁芯电机，第一驱动件用于驱动第一平
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117059556 A
(43)申请公布日 2023.11.14
(21)申请号 202210493096.4 H02K 7/14 (2006.01)
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