一种固晶机的固晶移动平台.pdfVIP

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2023-11-15 发布于四川
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一种固晶机的固晶移动平台.pdf

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本发明公开一种固晶机的固晶移动平台，其包括沿竖直方向依次设置的底座、X轴移动组件、Y轴移动组件和夹具顶板组件。固晶机在工作时，视觉系统会在基板上搜寻固晶位，搜寻到固晶位后，会反馈给系统，系统控制固晶移动平台进行X、Y轴方向位置调节，将基板的固晶位对准吸嘴的位置，当芯片被搬运过来后，即可直接放下到固晶位中，完成固晶。为了避免在X轴运动方向的负载过重，X轴移动组件选择使用双无铁芯直线电机驱动，克服了齿槽效应及吸力导致金属结构变形的问题，使固晶机的固晶移动平台受力更均匀，运动更平稳，加减速度更高，进而

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117059537 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202210493637.3 (22)申请日 2022.05.07 (71)申请人深圳市万福达智能