一种负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法以及电子部件.pdfVIP

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2023-11-15 发布于四川
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一种负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法以及电子部件.pdf

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本发明提供一种负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制造方法以及电子部件，所述负性感光性聚酰亚胺组合物含有下述成分(a)、(b)、(c)和(d)：(a)可溶于碱性水溶液的聚合物，(b)光聚合反应引发剂，(c)具有可聚合官能团的化合物，所述可聚合官能团包括不饱和的双键或三键，(d)热交联剂。本发明的负性感光性聚酰亚胺组合物未曝光于紫外光的部分易溶于碱性水溶液，而已曝光于紫外光的部分不溶于碱性水溶液，因而能够有效地复制精细的图案。此外，本发明的负性感光性聚酰亚胺组合物未曝光部分与曝光部分的溶解速度比(对比

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117055292 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202210494614.4 (22)申请日 2022.05.07 (71)申请人江苏艾森半导体材料股份有限公司地