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用于化学机械抛光设备的示例性承载头可包括载体主体。所述承载头可包括基板安装表面，所述基板安装表面与所述载体主体耦接。所述承载头可包括内环，所述内环的大小和形状被设定为周向地包围抵靠所述基板安装表面定位的基板的周边边缘。所述内环的特征可在于具有面对所述载体主体的第一表面的第一端部和具有与所述第一表面相对的第二表面的第二端部。所述内环的所述第二端部可径向地位移。所述承载头可包括外环，所述外环具有内表面，所述内表面抵靠所述内环的外表面设置。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117047635 A
(43)申请公布日 2023.11.14
(21)申请号 202211260669.5 (51)Int.Cl .
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