原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种镀膜设备，包括镀膜室、门体、阳极清洗组件、阴极清洗组件和挡板组件；镀膜室开设出入口，门体转动设于镀膜室并封住出入口，阳极清洗组件设于镀膜室内；阴极清洗组件设于门体并包括柱状的清洗靶和引弧组件；挡板组件设于门体并包括挡板和调节件，挡板设于门体且挡板的边缘开设有缺口，调节件设于挡板的边缘用于可调节地覆盖部分缺口，清洗靶溅射形成的电子流在阳极清洗组件的吸引下从未被覆盖的缺口到达镀膜室内以清洗工件。镀膜设备通过设置挡板以阻挡清洗靶溅射形成的大颗粒靶材、离子和原子，阳极清洗组件吸引电子流通过未被覆盖的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220012774 U
(45)授权公告日 2023.11.14
(21)申请号 202321287471.6
(22)申请日 2023.05.19
(73)专利权人 富联智能工坊（郑州）有限公司
地
文档评论（0）