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基于双衍射光栅的平行度检测系统 0 大型工件平行度检测的测量条件 在生产、生活和建设过程中，一些大型设备和建筑通常体积大、距离长，因此这些物体的一些支柱、横梁和其他部分可能具有较高的平行度要求。在实际生产过程中，对大型工件平行度进行检测是比较困难的，也是必须的。 目前，该类工件的平行度测量还缺少理想的检测装置和检测方法。常用的方法如自准直方法、百分表法等，其原理比较简单，对小口径、轴较短的单工件的平行度测量有很好的精度，但对于目标较大，多目标排列方式目标的平行度测量，它们都有很大的局限性。利用平行度测试仪等仪器由于测试距离范围有限，对大型目标的平行度测量也不能获得较好的效果。而单纯依靠数字图像处理的方法虽可以测量大体积目标，但却因为照相机与待测面的角度不能达到完全垂直，因而会带来较大的误差。 利用双衍射光栅投射出的平行线作基准，并进行图像处理的方法，可以对大型目标平行度进行检测。这种方法简便、易于实现，能够快速的得到平行度的偏差，并由基准线校正与待测面的角度偏差，最终得到高精度的测量结果。 1 测量原理 1.1 疏光栅营造模型 透射式线光栅是指由大量等宽度、等间隔的平行线条组成的光学元件。设透射光栅的光栅常数为p，由光栅方程 可以看出，当光栅的光栅常数不同时，产生的衍射图样不同。疏光栅衍射后极大值之间的间距较小。疏密线光栅的衍射图样分别如图1和图2所示。 本文中采用疏光栅与密光栅正交放置，则衍射图样在平面内分布。建立坐标轴x-y-z,x轴沿疏光栅刻画方向，y轴沿密光栅刻画方向，z轴沿光源光轴方向。将两块光栅重叠放置于x-y平面上，如图3。 则对于点S(x,y,z)，在各投影面与z轴的夹角分别为 设疏光栅的光栅常数为p′，密光栅的光栅常数为p，由光栅方程，主极大的位置满足： 其中当投影面与z轴垂直时，第m行点与x轴平行，n列点与y轴平行。 1.2 平面方程与光栅间距的转换 在获取待测目标的图像时，若照相机的光轴与平行线所在的平面不垂直，则会带来测量误差。为此，可以用激光投射出的参考线对这个角度的偏差进行校正。坐标建立方法与如图3一致，照相机光轴与光源平行，待测面在z轴上与光栅间距为L，不失一般性，设该平面方程为 取第一列极大值点，即n=1，这一列点满足方程 式(4)与式(5)联立方程组，可以得到这列点在x-y平面上投影，即照相机拍摄所得 同理，取第一行极大值点，即m=1，可以得到 这两条直线的斜率分别为 因此，在照相机拍得投影面上的衍射图样的k1,k2时，可以得到平面方程中的参数: 把参数A、B带入平面方程(4)，由平面方程对待测平行线进行校正，便可消除由平面倾斜所带来的误差。 2 线光源对平行度的影响 在平行度测量系统当中，对光源的要求较高。首先，对光源的亮度有一定要求。因为待测目标比较大，目标之间的距离也较远，并且光源发出的光经过光栅衍射后，需要得到三个甚至多个级次的极大值，这就要求光源的亮度要高。其次，光源的单色性要好。衍射光栅在衍射过程中对光有色散作用，这会使测量结果的输出不直观，影响测量精度，因此对光源的单色性也有很高的要求。综上，选择激光作为光源。 对于不同数量的目标，采用不同的方法进行测量。 1)测量两条平行线或三条等距离平行线的平行度时，我们可以采用以下方法： 用激光点光源照射到透射线光栅上，可得其衍射图样。其衍射图样为一条由许多点组成的直线，当我们所取得点足够多，那么由透射光栅所出射的图像可以看作是一条直线。并可以当作线光源入射到以后的光学系统当中。 之所以这样做的好处有以下几点：第一，虽然得到线光源的方式有很多种，但是由透射光栅对点电源所成的像，成像范围大，也就是说，透射光栅得到的直线很长，这对于测量大的目标是十分必要的。第二，由衍射原理和计算可知，只要像面是平面，那么衍射出来的像一定是一条直线。第三，这条光线具有足够的亮度。 当测量目标只有两条平行线，或者第三条平行线位于其他两条平行线正中央时，我们可以利用正弦光栅对线光源进行调制。正弦光栅透过率函数是在0至1区间内成正弦变换，因此称为正弦光栅。正弦光栅的频谱上只有±1级和0级三个极大值，当线光栅从正弦光栅通过后，可以得到三条直线。 2)当需要同时测量多条平行线时，可以采取以下方法： 当同时测量多条平行线时，测试系统如图4所示。让激光束先后透过疏光栅和密光栅，两块光栅呈正交放置。我们也可以直接采用让线光源直接通过透射光栅，得到一系列平行线。如果平行线过于密集，我们可以通过滤波方法，只让我们所需要部分的极大值通过(对于测量两条平行线或者三条等距离平行线的平行度时也可以采取这种方法，只需要选取衍射光栅的0级，并按照距离要求选取±3、±5或者其他各个级次)。 这样，就可以将光栅衍射出的各条平行线准确的投射到待测的目标上，使一条光线与其中一个目标首尾重合，其他各条