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本发明提供一种差分抽样品传递机构。本发明包括差分抽腔室、样品更换机构、样品插排机构、样品传送台，差分抽腔室内通过密封圈隔断成若干差分抽空间，每个空间有独立的真空获得机构和检测机构，样品插排机构用于切换待传递的样品，样品更换机构用于将待传递的样品更换至预设差分抽空间位置，样品传送台用于将待传递的样品传输至差分抽腔室，差分抽腔室的输出端与超高真空腔体相连接，样品传送台插入差分抽腔室后，传送台和密封圈紧密接触，使相邻密封圈之间成为独立的空间，实现样品从大气至超高真空环境之间的动态传递。本发明实现从大气
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117074892 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202310669013.7
(22)申请日 2023.06.07
(71)申请人 大连齐维科技发展有限公司
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