一种光纤探头表面超透镜的制备方法.pdfVIP

下载本文档

5
0
约1.07万字
约 13页
2023-11-18 发布于四川
举报
版权申诉

一种光纤探头表面超透镜的制备方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及光纤探头技术领域，具体是一种光纤探头表面超透镜的制备方法，该方法是采用如下步骤实现的：S1：制备热氧化层A；S2：旋涂电子束光刻胶层；S3：刻蚀形成M组纳米窗口A；S4：刻蚀形成M组纳米窗口B；S5：刻蚀形成M组纳米凹孔；S6：制备M组热氧化层B；S7：施加光固化浆料；S8：光固化浆料填充到M组纳米凹孔内；S9：刮除M组纳米凹孔外的光固化浆料；S10：涂覆光固化树脂；S11：M组纳米凹孔内的光固化浆料固化形成M组纳米凸起；S12：M个超透镜从M组纳米凹孔内脱出；S13：将M个光纤探头分

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117075236 A (43)申请公布日 2023.11.17 (21)申请号 202311249195.9 (22)申请日 2023.09.26 (71)申请人中北大学