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本发明提供了一种超大负载堆叠型摩擦式压电磁力混动微纳台及驱动方法，其包括电磁驱动单元、基座单元和压电驱动单元，所述压电驱动单元包括连接板、预压簧片、柔性机构、压电堆叠以及摩擦棒。本发明通过电磁驱动单元与压电驱动单元的输入电信号控制，可以实现快速驱动以及精密定位两种工作模式。执行快速驱动模式时，控制电信号使滑块受到的合力始终大于0，电磁驱动单元施加较大的直流电压使得滑块获得力较大的合力；执行精密定位模式时，控制电磁驱动单元电信号使其在压电驱动单元电压快速升高时滑块受到的合力为0，以抑制此阶段压电驱
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117081424 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202310998322.9
(22)申请日 2023.08.09
(71)申请人 浙江大学
地址 310058
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