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电子束晶圆缺陷检测设备的检测准备方法和检测方法.pdfVIP

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  • 2023-11-18 发布于四川
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电子束晶圆缺陷检测设备的检测准备方法和检测方法.pdf

    本发明公开了一种电子束晶圆缺陷检测设备的检测准备方法，包括：在有图形晶圆上片后进行光学显微系统下的晶圆对准、扫描电镜下的多级晶圆对准以及确定晶圆坐标系的参考点，将所述扫描电镜的图像灰度优化和扫描电镜的自动聚焦融入扫描电镜下的多级晶圆对准中。本发明还公开了一种电子束晶圆缺陷检测设备的检测方法，包括：使用上述的方法对有图形晶圆实施缺陷检测准备，然后执行所述设备的晶圆检测工作。本发明除去了现有技术中的步骤紊乱和冗余，提升了检测准备方法和检测方法的效率，提升了设备的吞吐量。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117080104 A (43)申请公布日 2023.11.17 (21)申请号 202311021117.3 G06T 5/00 (2006.01) (22)申请日 2023.08.1

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