原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
基板处理装置包含：载体保持部，其保持载体；处理单元，其处理基板且执行使用虚拟基板的处理；虚拟基板收容部；基板载置部；第一搬运单元，其在处理单元与基板载置部之间搬运基板，并在处理单元、虚拟基板收容部以及基板载置部之间搬运虚拟基板；第二搬运单元，其在载体保持部与基板载置部之间搬运基板；存储部，其存储虚拟基板的使用历史信息；使用期限通知部，其基于使用历史信息通知虚拟基板的使用期限信息；行程制作部，其制作用于回收已被通知使用期限信息的虚拟基板的搬运行程；搬运控制部，其按照搬运行程来控制第一搬运单元和第二
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117083701 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202280022131.2 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
文档评论（0）