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电阻化学气相沉积炉.pdfVIP

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  • 2023-11-18 发布于四川
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电阻化学气相沉积炉.pdf

    本发明提供了一种电阻化学气相沉积炉，包括外层炉膛、工件内胆、电阻加热系统、气体供应系统以及多级过滤系统；工件内胆设置在外层炉膛内部，外层炉膛与工件内胆之间形成加热区，工件内胆用于放置待加工工件并为待加工工件提供反应环境；电阻加热系统采用电阻带作为发热元件并沿圆周方向设置在加热区内，电阻加热系统用于通过工件内胆以加热待加工工件；气体供应系统设置在外层炉膛外部且与工件内胆连通，气体供应系统用于向工件内胆通入反应气体；多级过滤系统设置在外层炉膛外部且与工件内胆连通，多级过滤系统用于过滤电阻化学气相沉积

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117070921 A (43)申请公布日 2023.11.17 (21)申请号 202310836148.8 (22)申请日 2023.07.10 (71)申请人 陕西蓝太航空设备有限责任公司 地址

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