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本发明涉及一种小尺寸铁电晶体周期极化设备及极化方法，设备包括盘件、上电极夹具和下电极夹具；盘件用于放置待极化晶体，上电极夹具和下电极夹具为待极化晶体提供极化电源；盘件包括底板，底板中部开有镂空槽；底板上平面设置若干围挡片，围挡片围合形成有围挡区，围挡区位于镂空槽上方；围挡片上设置有竖直贯穿的通孔阵列；上电极夹具包括夹具盘，夹具盘上设置有第一环形围挡；第一环形围挡围合的区域为液腔；夹具盘开设有导电液注入口，导电液注入口连接液腔和上电极夹具外部；上电极夹具底部设置有上电极夹具导线栓；下电极夹具包括下
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117071079 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202310827580.0
(22)申请日 2023.07.06
(71)申请人 闽都创新实验室
地址 35010
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