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腐蚀性气体中金属基体的节能热处理装置.pdfVIP

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  • 2023-11-18 发布于四川
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腐蚀性气体中金属基体的节能热处理装置.pdf

    本发明公开了腐蚀性气体中金属基体的节能热处理装置，包括：位于辐射场中的工艺框架(1)，基板(2)配置以插接于工艺框架(1)上，且上述工艺框架(1)包覆基板(2)的上表面外边缘以形成小体积工艺空间。上述工艺框架(1)修改原有工艺框架的结构，通过包覆基板(2)外边缘的方式，以保护边缘不被硒接触，同时降低接触边缘的硫族元素，即使腔室中残留的硫族元素或碳氢化合物也不会导致基板(2)的边缘腐蚀，由于工艺空间最小化，工艺室中的硫族元素已经大大降低，因此，基板(2)底面上的阻挡层也可以明显变薄。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117083698 A (43)申请公布日 2023.11.17 (21)申请号 202280021572.0 (51)Int.Cl .

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