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- 2023-11-18 发布于四川
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本发明涉及输送技术领域，具体涉及一种硅片翻转输送系统及其工作方法。本发明提供了一种硅片翻转输送系统，包括：固定架、升降架、翻转部和若干定位震动件，固定架呈框架结构，升降架可升降的设置在固定架内，且升降架与定位震动件联动；翻转部固定在升降架上方，翻转部的活动端适于周向转动；若干定位震动件等间距固定在翻转部的活动端，其中；翻转部驱动定位震动件同步翻转，以使吸附件朝向硅片；升降架驱动硅片竖直向上移动，升降架上端适于插入定位震动件内，以校正翻转部的活动端；升降架与定位震动件分离，定位震动件适于震动吸附件
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117068752 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311317515.X
(22)申请日 2023.10.12
(71)申请人 常州比太科技有限公司
地址 21
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