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本发明涉及金属材料成形技术领域，具体涉及一种高纯铜旋转靶材的制造方法，包括以下操作步骤：将采用真空熔炼、电磁连铸法制备的铜坯料，依次进行车皮、感应加热、穿孔挤压、辊式矫直和机加工，获得晶粒尺寸细小且分布均匀的高纯旋转铜靶。相较于现有技术，本申请具备工艺简单、操作性好、生产成本低、生产效率高的优点，同时可以有效减少制造过程中的高纯铜靶内部出现结构缺陷，提高了晶粒均匀性和靶材利用率，进而提高了高纯靶材的质量和性能，得到厚度分步均匀的溅射薄膜，提高了高纯铜靶的制造效率与经济效益。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117070902 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202310951468.8
(22)申请日 2023.07.31
(71)申请人 芜湖映日科技股份有限公司
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