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本发明公开了一种蓝宝石基片用软硬同体固结磨盘及其制备方法，所述软硬同体固结磨盘由多软质与硬质区域同体单元固结组成，软质区域硬度90‑100HD(肖氏)，硬质区域硬度为其1.1‑1.4倍。软质区域中含有硬质磨料，硬质磨料的硬度不低于蓝宝石；硬质区域中含有软质磨料，软质磨料为能与蓝宝石发生固相反应的材料，且硬度比蓝宝石低。本发明协调软/硬质磨粒和软/硬质区域的匹配性，促进软质磨料和蓝宝石基片之间固相反应作用，发挥硬质磨料优异的机械去除性能，降低表面与亚表面损伤，实现软硬协同高效低损伤加工。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117067120 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311202191.5
(22)申请日 2023.09.18
(71)申请人 华侨大学
地址 362000
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