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一种样品形貌结构检测系统及方法.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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一种样品形貌结构检测系统及方法.pdf

    本发明提供一种样品形貌结构检测系统及方法，包括：光源单元，用于发射光束；参考臂，用于将发射光束反射，提供第一路反射光束；测量臂，用于将所述发射光束传输至待测样品，并将从待测样品反射的光束收集，提供第二路反射光束；光分析成像模块，用于获取第一路反射光束和第二路反射光束的干涉光谱，并基于预先标定的测量臂反射光谱中峰值波数与待测样品表面位置的关系和第二路反射光束确定干涉光谱在傅里叶空间域的符号，以提取出待测样品的真实反射信号，并基于真实反射信号得到样品形貌结构信息。本发明无需多次傅里叶变换，无需添加色

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117091534 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202311083386.2 (22)申请日 2023.08.25 (71)申请人 华中科技大学 地址 430074

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