用于更有效地处理多个样本的宽离子束（BIB）系统.pdfVIP

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2023-11-22 发布于四川
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用于更有效地处理多个样本的宽离子束（BIB）系统.pdf

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用于更有效地处理多个样本的宽离子束(BIB)系统。本发明公开了用于在样本制备工作流程中操作具有改进正常运行时间的宽离子束(BIB)抛光器的系统和方法。根据本发明的用于操作具有改进正常运行时间的宽离子束(BIB)抛光器的示例性方法包括：当第一BIB源朝向样本发射第一宽离子束时，致使该第一BIB源朝向定位在该BIB抛光器的内部体积内的该样本发射该第一宽离子束；从该BIB抛光器移除第二BIB源，该第二BIB源被配置为在使用时朝向该样本发射第二宽离子束。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117086702 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202310573084.7 (22)申请日 2023.05.19 (30)优先权数据