2023年半导体设备相关行业项目操作方案.docx

半导体设备相关行业项目操作方案 PAGE 1 半导体设备相关行业项目操作方案 目录 TOC \h \z 30873 序言 3 18554 一、产品规划 3 12651 (一)、产品规划 3 19594 (二)、建设规模 4 6723 二、土建工程说明 5 12551 (一)、建筑工程设计原则 5 5469 (二)、半导体设备项目工程建设标准规范 6 13606 (三)、半导体设备项目总平面设计要求 8 23389 (四)、建筑设计规范和标准 8 21556 (五)、土建工程设计年限及安全等级 9 29355 (六)、建筑工程设计总体要求 10 2