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等离子体处理装置.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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等离子体处理装置.pdf

    本发明提供一种防止异常放电的等离子体处理装置。提供一种等离子体处理装置，其施加高频的电力，其中，该等离子体处理装置具有：腔室；载物台，其位于所述腔室内且在上部载置基板，并在内部具有加热器；以及环状构件，其在所述载物台的周围与所述载物台分开地设置，并由电介质形成，在所述环状构件的下表面在径向上形成有环状的槽。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111696844 A (43)申请公布日 2020.09.22 (21)申请号 20201

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