原创力文档- 10
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- 2023-11-22 发布于四川
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本发明涉及非球面测量技术领域，且公开了一种非球面高精度干涉仪绝对测量装置及方法，测量装置包括待测镜片、补偿镜、标准反射镜，待测镜片设置在支撑架上，支撑架设置在六维调整架上，六维调整架从上到下依次包括旋转台、偏摆台、俯仰台、水平位移台、前后位移台、高度位移台，待测镜片上贴设有标记物。测量方法包括利用反射式补偿镜，形成折叠型测量光路，以及利用标记物获得镜片相对旋转位置的绝对检测方法。本发明采用上述非球面高精度干涉仪绝对测量装置及方法，利用反射镜进行测量，缩短测量光路长度，利用标记物从结果中计算镜片相
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117091532 A
(43)申请公布日 2023.11.21
(21)申请号 202311079210.X
(22)申请日 2023.08.25
(71)申请人 同济大学
地址 200092
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