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全自动晶圆高速划片设备.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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全自动晶圆高速划片设备.pdf

    本实用新型公开了全自动晶圆高速划片设备。该装置包括机台、载台组件、驱动装置、激光装置、第一CCD装置、第二CCD装置。第一CCD装置位于激光装置的上方并与激光装置的工作端同轴芯分布；第二CCD装置位于载台组件的下方并与激光装置的工作端偏轴芯分布。在划片的过程中，上下分布的第一CCD装置、第二CCD装置对滑片工作实时监控，修正划片轨迹，实现高速晶圆划片作业。本设备采用高频脉冲激光器技术实施划片工作，能够实现高速精准的划线工作。采用上CCD同轴沟道检测，下CCD近轴沟道检测，满足正切、背切多种工艺需

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220050423 U (45)授权公告日 2023.11.21 (21)申请号 202223091783.8 (22)申请日 2022.11.21 (73)专利权人 苏州天弘激光股份有限公司 地址

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