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半导体装置.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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半导体装置.pdf

    本发明提供一种半导体装置，不变更芯片尺寸就能够调整电阻值，还能够抑制电阻值偏差。半导体装置具备：半导体基板；设置于半导体基板的一个面上的第一绝缘膜；设置于第一绝缘膜上的、由多晶硅构成的第一电阻层；设置于第一电阻层上的第二绝缘膜；以与第一电阻层重叠的方式设置于第二绝缘膜上的、由多晶硅构成的第二电阻层；设置于第二电阻层上的第三绝缘膜；设置于第三绝缘膜的上方且与第二电阻层电连接的第一电极；以及与第一电阻层电连接的第二电极，其中，第一电阻层和第二电阻层分别具有主体部以及杂质浓度比主体部的杂质浓度高的第一

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117096138 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202310334285.1 (22)申请日 2023.03.31 (30)优先权数据 2022-081376 202

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