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一种用于光片上网络互连的基于槽波导的光电调制器.pdfVIP

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  • 2023-12-13 发布于四川
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一种用于光片上网络互连的基于槽波导的光电调制器.pdf

    本发明公开一种用于光片上网络互连的基于槽波导的光电调制器，包括二氧化硅衬底和在二氧化硅衬底上的槽波导输入输出端口以及调制区域、空气包层。槽波导由两个高折射率介质硅(Si)层、中间低折射率二氧化硅(SiO2)层组成；调制区域是在槽波导的基础上，在硅层外侧添加氧化铟锡(ITO)层、二氧化铪(HfO2)层和金属电极(Au)层由里向外叠加而成；槽波导区域以及调制区域波导厚度和宽度相等，在二氧化硅衬底的上表面依次连接；调制区域的氧化铟锡(ITO)层接地，金属电极层与正电极相接；本发明具有尺寸小、功耗低、高

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117092837 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202310961322.1 (22)申请日 2023.08.02 (71)申请人 桂林电子科技大学 地址 54

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