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本实用新型公开了一种溶液固化装置，包括基座，所述基座内部固定有电机，所述底轴另一端与轨道板底端外侧面连接固定，所述轨道板顶端套设有安装套板，所述安装套板顶端螺纹安装有锁定螺栓，所述安装套板底端固定有基板，所述基板末端贯穿安装有调节螺纹杆，所述调节螺纹杆底端通过轴承座与安装板顶面旋转连接，所述安装板底面安装有UV固化灯。该溶液固化装置，采用新型的结构设计，通过机械驱动结构，带动UV固化灯进行大幅正反交替旋转摆动，不断改变UV固化灯的照射角度，对不同尺寸晶圆表面的旋涂光刻胶进行全面多角度的均匀照射固
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220048854 U
(45)授权公告日 2023.11.21
(21)申请号 202321328449.1
(22)申请日 2023.05.29
(73)专利权人 苏州惠力达半导体材料有限公司
地
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