集成电路的布局设计方法.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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本公开的实施例提供了一种集成电路的布局设计方法,该方法包括接收电路布局,该电路布局包括将在集成电路(IC)衬底上方的同一材料层上形成的电路部件和标记图案,该电路部件沿第一方向纵向定向,并且沿与第一方向正交的第二方向彼此相隔;对标记图案进行分割,以生成具有分割的标记部件的分割的标记图案,使分割的标记部件以平行方式布置,并且沿第三方向纵向布置;以及生成用于电路制造的修改后的电路布局,修改后的电路布局包括电路部件和分割的标记图案。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117094271 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202310127637.6 (22)申请日 2023.02.17 (30)优先权数据

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