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本实用新型公开了一种防打火保护组件,包括靶背板,靶背板一侧安装有加强垫板,且平面靶材固定在加强垫板一侧,加强垫板内部开设有第一散热孔,且第一散热孔内部安装有第一加强板,加强垫板两侧外部安装有第二加强板,加强垫板两侧开设有第一定位孔,且靶背板和加强垫板之间通过第一定位孔和螺钉连接固定,本实用新型通过靶背板一侧安装有加强垫板,加强垫板内外分别设有第一加强板和第二加强板,使得靶背板结构强度较高,抗性变能力较强,可减小在安装及实际镀膜加热过程中的形变,使其与靶材基座之间距离保持稳定,极大减少阴阳极之间距
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220057006 U
(45)授权公告日 2023.11.21
(21)申请号 202321354253.X
(22)申请日 2023.05.31
(73)专利权人 上海常嵘环保科技有限公司
地址
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